该项目总建筑面积2.7万平方米。主要建设整机组装车间、部件装配车间、机械加工车间、研发中心、实验检测中心等，形成年产大型高端蒸发镀光学镀膜机100台/年，高端大型磁控溅射镀膜机30台/年，纯离子金属镀膜机30台/年，深冷泵360台/年、离子源100台/年、光控膜厚仪100台/年、离化室30台/年、纯离子发生器240台/年生产能力，打造中国高端真空镀膜装备产业化基地。