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光刻设备项目
信息来源:    发稿作者:    发布时间:2020-04-25 14:54:46   查看

 本项目利用新诺科技自主研发的无掩膜光刻技术,采用数字化方式实现直接成像,具备国际领先技术水平。本项目将建立集研发、生产、销售于一体的高科技产业平台,并引进15台以上国际领先的激光成像设备,激光显微镜5台以上、激光干涉仪5台以上、激光功率能量机5台以上、数字微镜装置1000台、高精密数字化运动平台200台以上等核心设备,同时购置干膜显影设备、压膜设备、光纤研磨设备、自动化装配流水线、智能化仓储系统等配套设备,形成年产wzd800台光刻机生产能力,产品具有精度高、自动化率高、环境友好、应用广泛等特点

              
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